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PSD-シリーズ

カンチレバーセンサ

製品の詳細

PSD-シリーズは、2つのモレキュラーシーブ乾燥カートリッジを備え、圧力剪断の原理に基づいて動作する検査用途向けに設計されています。乾燥カートリッジは、使用中の乾燥カートリッジから出てきた乾燥ガスの一部を順番に使用して、別の乾燥カートリッジをパージ再生するために使用されます。

ハイライト

PSD-2
モデル	一対の乾燥筒、圧力切削
かんそうざい	4 Aモレキュラーシーブ
タイマ	機械回転盤計時
あつりょくけい	ボルデン管式
はいきぐち	しょうけつおうどうしょうおんき
ガス入口	10 Nl/minは70 ~ 100 psig、無油無液状水
ガス出口	7 Nl/minが1 ppmV未満の場合（＝−75°C露点未満）、吐出圧力10 psig
電源装置	100/120または220/240 V AC、50/60 Hz
動作温度	+5 ~ +35°C
きおくおんど	-40 ~ +35°C
こうぞう	アルミ製ケース、19”ラック取付6 Ux 350 mm深さ
じゅうりょう	約12.5 kg
PSD-4
モデル	一対の乾燥筒、圧力切削
かんそうざい	4 Aモレキュラーシーブ
タイマ	機械回転盤計時
エアポート	ガス入口-ステンレス6 mm Swagelok®キャツプガス出口-ステンレス鋼製188″Swagelok®ジャケットVCRコネクタ
ガス入口	20 Nl/minは70 ~ 100 psig、油なし液状水なし（−40°C露点以下）
ガス出口	10 Nl/minが13 ppbV未満の場合（-100°C露点）
フィルタリング	ウエハ濾過、密封型、0.003µmレベルのろ過効果は99.999%より優れている
電源装置	220/240 V AC, 50/60 Hz
動作温度	+10 ~ +40°C
きおくおんど	-40 ~ +50°C
こうぞう	IP 66（NEMA 4）GRP壁掛けキャビネット（700 x 500 x 270 mm）、すべてのガス回路素子は316ステンレス鋼
じゅうりょう	約27 kg

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